Plateforme de métrologie modulaire 100x100x100 mm
- Deux sondes confocales chromatiques : gamme de mesure 1,1 mm et 300µm
- Précision de déplacement de la plateforme = 0,7µm/100mm
- Spécification type : 2nm/mm, sigma/step inf. 3nm
- Vitesse de déplacement et pas de mesure réglables
- Caméra CCD haute définition pour définir les zones de mesure
- Poids maximal des échantillons : 10 kg